純水是一種無機(jī)化合物，化學(xué)式為H2O，具有一定結(jié)構(gòu)的液體，雖然它沒有剛性，但它比氣態(tài)水分子的排列有規(guī)則得多。在液態(tài)水中，水的分子并不是以單個分子形式存在，而是有若干個分子以氫鍵締合形成水分子簇（H2O），因此水分子的取向和運(yùn)動都將受到周圍其他水分子的明顯影響。對于水的結(jié)構(gòu)還沒有肯定的結(jié)構(gòu)模型，被大多數(shù)接受的主要有3 種：混合型、填隙式和連續(xù)結(jié)構(gòu)（或均勻結(jié)構(gòu)）模型。

        純水指的是不含雜質(zhì)的H2O。從學(xué)術(shù)角度講，純水又名高純水，是指化學(xué)純度極高的水，其主要應(yīng)用在生物、 化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用最普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級。在純水的制作中，水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子（微電子）元器件（或材料）的生產(chǎn)工藝而定（如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。隨著電子級水標(biāo)準(zhǔn)的不斷修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制純水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。