純水是一種無機化合物，化學式為H2O，具有一定結構的液體，雖然它沒有剛性，但它比氣態(tài)水分子的排列有規(guī)則得多。在液態(tài)水中，水的分子并不是以單個分子形式存在，而是有若干個分子以氫鍵締合形成水分子簇（H2O），因此水分子的取向和運動都將受到周圍其他水分子的明顯影響。對于水的結構還沒有肯定的結構模型，被大多數接受的主要有3 種：混合型、填隙式和連續(xù)結構（或均勻結構）模型。

        純水指的是不含雜質的H2O。從學術角度講，純水又名高純水，是指化學純度極高的水，其主要應用在生物、 化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用最普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統所用的純水，要求各雜質含量低達到“微克/升”級。在純水的制作中，水質標準所規(guī)定的各項指標應該根據電子（微電子）元器件（或材料）的生產工藝而定（如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。隨著電子級水標準的不斷修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制純水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。